Im Rahmen einer hochauflösenden µCT-Analyse wurde der dreiachsige MEMS-Beschleunigungssensor ADXL345 zerstörungsfrei untersucht. Ziel der Untersuchung war die dreidimensionale Visualisierung der internen Sensorarchitektur sowie die materialspezifische Differenzierung hochdichter und niedrigdichter Funktionskomponenten. Die µCT-Daten erlauben eine detaillierte Analyse des Silizium-Mikromechanik-Systems, der Bondverbindungen sowie der metallischen Leiterstrukturen innerhalb des vergossenen Gehäuses. Die Ergebnisse zeigen eindrucksvoll das Potenzial der industriellen µCT zur strukturellen Charakterisierung komplexer mikroelektronischer Bauteile und zur Qualitätssicherung ohne mechanische Präparation.
Das Video zeigt ein dreidimensional gerendertes, kontinuierlich rotierendes µCT-Volumen des ADXL345. Durch die Rotation werden die komplexen inneren Strukturen des Sensors räumlich erfassbar, insbesondere die hochdichten metallischen Komponenten wie Bond-Drähte, Kontaktpads und Anschlussstrukturen, die sich deutlich vom umgebenden Silizium und Vergussmaterial abheben. Die Visualisierung verdeutlicht den hohen Kontrastumfang der µCT-Daten und ermöglicht eine intuitive Interpretation der internen Sensorarchitektur sowie potenzieller struktureller Auffälligkeiten.